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關于光學位移平臺產品總結報告
KX系列光學位移平臺有超高轉動精度，勻速穩(wěn)定性、小的軸向和徑向跳動誤差，以及高剛性等特點。LX系列光學位移平臺是憑借研發(fā)團隊的材料、結構、仿真分析等專業(yè)技術，對轉臺整體進行不斷優(yōu)化的結果，非接觸的氣浮軸承結構，實現無摩擦的轉動，使LX系列氣光學位移平臺達到微米以下級別的轉角精度。
光學位移平臺應用領域
科研；工業(yè)制造；激光加工制造；電子零件生產、組裝；半導體制造、檢測；平面顯示器制造、檢測
